クォークテクノロジーは、紫外線照射装置の製造・販売を行っており、エレクトロニクス微細加工技術は革新が進み、これにともない半導体など先端技術の製造工程では、ディコンタミネーション(除染)、表面処理のキーテクノロジーとしてエキシマUV光が非常に有効な手段として認められており、従来の水銀ランプからの代替が進みつつある。
UV硬化、乾燥などに使用されるUV光源は、高圧水銀ランプやメタルハライドランプが使用してきたが、近年はLEDの高出力化によりLEDによる処理が可能となった。
ランプに比べLEDは、長寿命、低消費電力であり被照射物への熱によるダメージを与えることなく処理できることから、需要が伸びてきており、このような状況の中、同社は半導体製造装置の製造や精密加工などで培った技術をもとに、クォークテクノロジーへ部品供給等の取引を行ってきた。
同社は、クォークの株式を取得し子会社化することで、UV-LED照射装置やエキシマUV照射装置の生産性の向上や新たなUV関連装置の開発など、クォークの持つ技術と当社の持つ技術にて半導体・FPD分野での共同開発、シナジー効果が期待でき、同社グループの更なる成長が見込めるものと考えていると述べている。
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半導体事業のタツモ、クォークテクノロジー社を完全子会社化
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